ワイドバンドギャップパワー半導体のダイアタッチ技術

表面技術

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総説

ワイドバンドギャップパワー半導体のダイアタッチ技術

菅沼克昭

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キーワード: SiC, GaN, Die-Attach, Power Semiconductor

ジャーナルフリー

2018 年 69 巻 3 号 p. 94-101

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.69.94

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