光学薄膜技術の歴史と技術動向

表面技術

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総説

光学薄膜技術の歴史と技術動向

室谷裕志

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キーワード: Thin Film, Optical Coating, Vacuum Deposition, Sputtering

ジャーナルフリー

2020 年 71 巻 10 号 p. 590-595

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.71.590

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