表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
解説
光照射技術によるスパッタ成膜フレキシブル透明導電膜の特性向上
野本 淳一, 山口 巖, 中島 智彦, 土屋 哲男
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キーワード: Excimer Laser Irradiation, Transparent Conducting Oxide, Work Function Control, Buffer Layer
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2020 年 71 巻 11 号 p. 672-676

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