さらに進化する迅速表面分析マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置

表面技術

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さらに進化する迅速表面分析マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置

林絹美

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キーワード: Optical Emission Spectroscopy, Glow Discharge Plasma, Sputtering, Surface Analysis, Depth Profile

ジャーナルフリー

2021 年 72 巻 3 号 p. 138-144

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.72.138

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