低誘電材料に対する表面改質と回路形成

表面技術

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総説

低誘電材料に対する表面改質と回路形成

渡邊充広

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キーワード: High Frequency, Low Dielectric Property, Surface Modification, Circuit Formation

ジャーナルフリー

2021 年 72 巻 7 号 p. 372-376

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.72.372

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