高密度プラズマによる高性能・高生産性を両立したDLC成膜技術の開発

表面技術

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〈技術賞〉解説

高密度プラズマによる高性能・高生産性を両立したDLC成膜技術の開発

中田博道, 佐藤羊治, 佐藤貴康, 橘和孝, 有屋田修, 高坂健児

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キーワード: High-Density Plasma, DLC, High-Rate Deposition, Microwave, Plasma-Assisted Vapor Deposition

ジャーナルフリー

2022 年 73 巻 3 号 p. 128-129

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.73.128

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