すれすれ入射X線回折を用いた薄膜の構造解析

表面技術

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すれすれ入射X線回折を用いた薄膜の構造解析

森岡仁

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キーワード: X-ray Diffraction, Grazing Incidence, Penetration Depth, Density Profile, Residual Stress

ジャーナルフリー

2025 年 76 巻 10 号 p. 439-444

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.76.439

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