HCD-ARE法による (Ti<sub>1-x</sub>・Al<sub>x</sub>) N膜の作製

表面技術

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HCD-ARE法による (Ti_1-x・Al_x) N膜の作製

斎藤一也, 湯池祥之, 大石幸司, 小島仁, 渡辺一弘, 稲川幸之助, 伊藤昭夫

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1989 年 40 巻 1 号 p. 102-103

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.40.102

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