HgO/GaAs複合素子を用いた微量PH<sub>3</sub>の検出

表面技術

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HgO/GaAs複合素子を用いた微量PH₃の検出

中西和美, 砂田芳宏

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ジャーナルフリー

1989 年 40 巻 2 号 p. 335-336

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.40.335

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