HCD-ARE法によるCrN<sub>x</sub>膜の作製

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869

HCD-ARE法によるCrN_x膜の作製

小島仁, 上田成行, 小笠原一秀, 佐藤武満, 米田芳之

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ジャーナルフリー

1995 年 46 巻 8 号 p. 757-758

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.46.757

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