表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
プラズマCVD法による粒子のSiC薄膜コーティング
英 敬信上宮 成之小島 紀徳
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1995 年 46 巻 9 号 p. 860-861

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