熱フィラメントCVD法により合成されたダイヤモンド薄膜への紫外線照射による酸化の効果

表面技術

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熱フィラメントCVD法により合成されたダイヤモンド薄膜への紫外線照射による酸化の効果

石川豊, 吉見英人, 広瀬洋一

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ジャーナルフリー

1996 年 47 巻 1 号 p. 74-75

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.47.74

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