表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
R.F誘導結合型プラズマを用いたスパッタリングによる窒化ホウ素薄膜の作製
賀曽利 裕, 浅沼 治朋, 伊藤 滋, 明石 和夫
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1996 年 47 巻 10 号 p. 887-888

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