SF<sub>6</sub> プラズマを用いた平坦な表面の得られるシリコンの高速等方性ドライエッチング

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
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SF₆ プラズマを用いた平坦な表面の得られるシリコンの高速等方性ドライエッチング

峯田貴, 菅沼栄一

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ジャーナルフリー

1996 年 47 巻 4 号 p. 378-379

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.47.378

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