マイクロ波プラズマCVDにより作製したダイヤモンド膜のAFM観察

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
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マイクロ波プラズマCVDにより作製したダイヤモンド膜のAFM観察

沖口圭子, 杉村博之, 坂本幸弘, 高谷松文

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ジャーナルフリー

1996 年 47 巻 7 号 p. 638-639

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.47.638

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