プラズマCVDによる微粒子成長と強結合微粒子プラズマの可視化

表面技術

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プラズマCVDによる微粒子成長と強結合微粒子プラズマの可視化

林康明

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ジャーナルフリー

2000 年 51 巻 12 号 p. 1208-1212

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.51.1208

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