パルスDCプラズマCVD法によるDLC膜の特性と応用

表面技術

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パルスDCプラズマCVD法によるDLC膜の特性と応用

河田一喜

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ジャーナルフリー

2002 年 53 巻 11 号 p. 732-733

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.53.732

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