ポリマー基板への酸化シリコン薄膜の光化学的低温形成

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
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ポリマー基板への酸化シリコン薄膜の光化学的低温形成

穂積篤, 桝田智子, 魚江康輔, 横川善之, 杉村博之, 林和幸, 高井治, 亀山哲也

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2002 年 53 巻 6 号 p. 419-420

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.53.419

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