計測自動制御学会 部門大会/部門学術講演会資料
第2回制御部門大会
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ゲインスケジューリングによるウエハ搬送ロボットの軌道追従制御
大原 伸介平田 研二太田 快人山本 和宏
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p. 68

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抄録
In this paper, we discuss trajectory tracking control of a wafer transfer robot. In order to establish an accurate model that is required in high performance control of the robot, we derive weighting functions from the models obtained by system identification at several attitudes. The weighting functions will be interpolated between the robot’s operating range. We design a controller for such model by gain scheduling techniques. Finally, we demonstrate numerical simulation of tracking control.
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