計測と制御
Online ISSN : 1883-8170
Print ISSN : 0453-4662
ISSN-L : 0453-4662
マイクロロボットによる微細作業技術の開発と応用
青山 尚之
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キーワード: 超小型ロボット, 微細作業, 圧電素子, 電磁石, アクチュエータ
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2002 年 41 巻 3 号 p. 231-237

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