半導体ウエットプロセス装置開発のプロジェクトマネジメント : 温故知新 最古の技術「めっきと研磨」を最先端技術に(<特集>R&D/Mfgを効率化するプロジェクトマネジメント)

抄録

近年半導体デバイス製造プロセスは大きく変わり,それに伴い製造装置への要求も大きく変わった.ユニットプロセスのみの開発からモジュールさらにはデバイス全てのターンキープロセス開発を要求されてきた.装置の開発もデバイス同様に,デバイスロードマップを理解し,必要な要素技術をプロジェクト化し開発を進める必要に迫られている.半導体装置の開発にプロジェクトマネジメントを応用してみた.ダマシンモジュールを例にとり,ITRSの示す技術障壁への挑戦を目標とし,めっき・研磨・洗浄・総合設計などのチーム開発を実施したので報告する.