イオン注入法により作製されたMg注入GaN中のMgの局所構造解析

抄録

イオン注入法で作製された窒化ガリウム（以下、GaN）中のマグネシウム（以下、Mg）は、高温アニール処理を実施しても活性化しない課題がある。しかし、これまで高温アニール処理に伴うGaN中のMgの挙動を原子レベルで調査した報告はなく、Mgが不活性な原因は未解明である。今回、我々はBL27SUにて蛍光XAFS法を使って、高温アニール処理に伴うMgの局所構造変化を調査した。その結果、イオン注入されたMgの局所構造が高温アニール処理によって変化することが分かった。