イットリウム系超電導線材用中間層の結晶子サイズと不均一格子歪みの評価

抄録

イットリウム系超電導線材の中間層を構成する多結晶のCeO₂/LaMnO₃/MgO/a-Y₂O₃/a-Gd₂Zr₂O₇/ HastelloyTM積層膜（a: アモルファス）においてCeO₂層では膜厚増加とともに高度に結晶子の面内配向が進行し、この上に成膜された超電導膜の臨界電流特性向上に寄与するが、その配向機構は未解明である。そこで機構解明の一助となるデータ取得を目的として、CeO₂層の下のLaMnO₃層について放射光微小角入射X線回折（GIXD）測定を行い、結晶子のサイズとその方位の結晶主配向軸からのずれ角度との相関関係を見出した。