金属およびセラミックス超微粒子の製造法の進歩

粉体工学会誌

Online ISSN : 1883-7239
Print ISSN : 0386-6157
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金属およびセラミックス超微粒子の製造法の進歩

プラズマ蒸発・凝縮法とプラズマCVDに重点を置いて

明石和夫

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ジャーナルフリー

1990 年 27 巻 2 号 p. 98-107

DOI https://doi.org/10.4164/sptj.27.98

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