HAXPES 定量解析に向けた電子分光器のリニアリティ改善

抄録

　HAXPES 定量解析において問題となる電子分光器の「数え増し」および「数え落とし」によるリニアリティ低下について、その原因となる２次元検出器上の光電子像における光電子スポットの形状と分布を画素単位で詳細に調べた。さらに、２次元検出器の設定により光電子スポットの形状を制御することで、リニアリティが改善できることを明らかにした。