内殻光電子を用いる高エネルギー放射光光電子顕微鏡の開発

抄録

我々は、SPring-8 BL15XUにおいて軟_から_硬X線の広いエネルギーに対応した光電子顕微鏡を開発している。硬X線に対応させることで、バルク敏感になりsub-surfaceの情報や最表面の状態に左右されずに試料の情報が得られるほか、深い内殻準位からの光電子をとらえることができて複雑な組成を持つ材料の化学状態分析が容易になる。本公演では高エネルギー放射光光電子顕微鏡の開発状況について発表する。