半導体超薄膜の誘電特性

抄録

第一原理計算を用いて超薄膜の誘電特性を評価する方法を提案する。Si超薄膜を対象として、膜厚をパラメータとして解析を行った結果について報告する。特に、原子スケール誘電特性について詳細に議論する。