原子レベルで平坦なエピタキシャルアルミナ極薄膜の成長

抄録

アルミを含有する合金を、超高真空中、最適化された温度・酸素分圧において酸化し、アルミナ膜成長を制御することで、NiAl(110)およびCu-9Al(111)単結晶表面上に、原子レベルで平坦なエピタキシャルアルミナ膜を成長させることに成功した。