アセチルアセトンとニッケル表面および酸化ニッケル表面との表面反応機構の研究

抄録

低エネルギーのイオンを入射し、ラジカル等の反応活性種の化学反応により表面改質を原子層レベル精度で行うプラズマプロセスが注目されている。本研究ではこの金属表面反応を解明するため、Ni表面及びNiO表面とアセチルアセトン(acac)の相互作用をab initio DFT法により検討した。その結果、acacのエノール型分子がNiO表面のNiと結合し反応が進行することが予想された。