表面科学学術講演会要旨集
2018年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 1Bp12Y
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11月19日(月)
情報量基準を使ったXPSスペクトルの自動情報圧縮
*篠塚 寛志吉川 英樹村上 諒仲村 和貴田中 博美吉原 一紘
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抄録
XPSスペクトルの解析は、バックグラウンドの引き方など任意性があり、解析者によって答えがばらつきやすい。我々は新しい自動ピーク分離アルゴリズムを開発した。スペクトルに掛けるスムージング回数を変えることで様々な初期解を作り、active Shirley法に基づいてフィッティングを行う。得られた多数の解に情報量基準を使い妥当なピーク本数の解を選ぶ。結果、多くの実測スペクトルに対して良好な解が得られた。
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© 2018 公益社団法人 日本表面科学会
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