表面科学学術講演会要旨集
2018年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 1P31
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11月19日(月)
減速比可変広角静電型レンズを用いた小型二次元光電子分析器の開発
*松田 博之桃野 浩樹トス ラスロ大門 寛
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抄録
我々は二次元光電子分析器DELMAの技術を基に高エネルギー分解能小型二次元光電子分析器の開発を行っている。DELMAは装置サイズが大きいことと、ディフレクターによる走査で高エネルギー分解能測定を行うため、測定効率に問題があった。新しい分析器は、減速比可変広角静電型レンズを用いて装置の小型化を達成すると同時に、高エネルギー分解能の二次元放出角度分布を広い立体角に渡って一度に測定することを可能にする。
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© 2018 公益社団法人 日本表面科学会
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