シリコンナノワイヤ電気伝導特性計測を目指したTEM-STMホルダーの開発

抄録

シリコンナノワイヤは、直径数nmほどになると、特有の物性が現れることが指摘されている。その物性は、ナノワイヤの形状などにも依存すると考えられるため、構造を観察しながら同時にその物性を計測する実験が望まれる。本研究では、STM機能を組み込んだ電子顕微鏡用ホルダーを用いて、透過型電子顕微鏡(TEM)内でシリコンナノワイヤを作製し、その電気伝導特性と構造を同時に観察した結果を報告する。