電界放出液体Li電子源と投影型X線顕微鏡への応用

抄録

電子プローブの電流が要求される電子線装置および分析装置において，電子源の放射角電流密度が要求される．本講演では，一般的な電子源と比較して2桁以上高い放射角電流密度を得ることができる液体Li電子源について紹介する．また，この電子源の搭載による，投影型X線顕微鏡の高出力化に向けた開発状況についても報告する．