X線光電子分光法による環境セル内の溶液試料の測定

抄録

従来、真空条件が不可欠なX線光電子分光法(XPS)を液体試料の観察や固液界面のその場観察に応用するための技術開発が進められている。本研究では、窒化シリコン薄膜をX線および光電子の窓として有する環境セルを作製し、内部を満たす溶液種を実験室型XPS装置により観察した。種々のイオンを含む水溶液の測定を行った結果、イオンに対応する光電子ピークが検出され、液体試料のXPS測定が可能であることが実証された。