表面科学学術講演会要旨集
2018年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 3Fp05S
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11月21日(水)
イットリウム酸水素化物エピタキシャル薄膜における太陽光照射による大きな抵抗減少
*小松 遊矢清水 亮太西尾 和記宮内 雅浩一杉 太郎
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抄録
イットリウム酸水素化物(YOxHy, 立方晶, a = 5.35 A)は太陽光照射により可視光透過率および電気抵抗率が低減するフォトクロミック特性を示す。本研究では、反応性マグネトロンスパッタ法によって新規にYOxHy(111)エピタキシャル薄膜を作製し、光照射に伴う電気抵抗の変化を調べた。すると、既報の多結晶薄膜に比べて2桁以上大きな抵抗変化を見出したので報告する。
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© 2018 公益社団法人 日本表面科学会
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