表面X線回折データに基づく界面構造のベイズ推定

抄録

表面や界面の構造を非破壊・非接触で測定できる手法として表面X線回折法があるが，その活用は逆空間の測定結果から実空間への変換の困難によって妨げられていた。物理的に妥当で，かつ実験結果をうまく再現できる表面構造を探索する，ベイズ推定による解析法を我々は開発した。この手法の有用性を，遷移金属酸化物エピタキシャル界面を例に紹介する。