PdあるいはPd/Tiコートした真空容器の全圧、分圧曲線測定

抄録

ステンレス製真空容器の内面に超高真空昇華法によりPdあるいはPd/Tiを成膜し、無コートの場合、Pdコートした場合でベークしないときの全圧、分圧曲線を測定した。その結果Pdコートの場合の方が1桁圧力が低くなること、窒素ベントを繰り返しても同様の結果となること、Pdコートした場合は水が早く排気されることがわかった。Pd/Tiコートした容器は150℃、3時間のベークで10^-8Pa台に到達した。