グラフェン・オン・シリコン表面構造のLEED観察

抄録

シリコン基板上に成長させたエピタキシャル・グラフェン薄膜の構造をRaman分光、低速電子線回折(LEED)、X線光電子分光(XPS)によりナノスケールで評価した。その結果、シリコン基板上にsp2炭素原子のネットワークであるグラフェンが形成されていることが明らかとなった。