窒素添加したWO₃薄膜の光学的特性

抄録

酸化タングステン薄膜はマルチプロセスコーティング装置を用い、反応性スッパタリング法により作製した。酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミック特性は薄膜の表面形態や結晶構造に深い関係がある。そのため、作製した試料に窒素を添加し、結晶構造と表面形態を変化させ、エレクトロクロミック特性を向上する目的としている。