Al含有合金単結晶膜の作製

抄録

銅およびニッケル単結晶を基板とし、基板を加熱した状態で、スパッタ蒸着によりアルミを蒸着し、ミクロン厚の銅‐アルミ、ニッケル‐アルミの合金（固溶体）単結晶膜の作製に成功した。この方法は、スパッタにより飛来したアルミ原子を拡散により基板に固溶させるものである。往々にして、合金単結晶は作製が難しく、市販されていなかったり価格が高かったりするが、この方法を用いれば、様々な合金単結晶を得ることができる。