B-A真空計の個体差による感度係数変化のシミュレーション

抄録

B-A真空計には管球により電極の寸法・配置などに微妙な個体差があり、感度係数は影響をうける。このような個々の管球の個体差に伴う感度係数変化を、二次元のシンプルなモデルを用いたシミュレーションにより検討し報告する。