ダブルテクスチャー構造透明導電膜の作製

抄録

薄膜太陽電池に使用される透明導電膜の作製を目的として研究を行い、特に光学的特性として欠かすことのできない光閉じ込め効果を得るために有機基板（PET）にレーザー加工を施すことにより1 μm程の半円球状の凹凸を作製することができた。その上に太陽光の波長領域で高い透過率を示すZnOにCuAlO2を添加したACZO透明導電膜を作製し光学的、電気的、構造的特性を評価したので報告する。