主催: 日本真空協会、社団法人 日本表面科学会
株式会社 不二越
ヘンミ計算尺株式会社
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HCDガンイオンプレーティング法を用いてガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)膜を成膜し、評価した。その結果についてご報告する。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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