硬質炭素モールド室温硬化ナノインプリントリソグラフィによるダイヤモンドナノドットパターンの作製

抄録

ナノインプリント技術で最も重要となるのがモールドであるが，耐久性がなく使い捨ての一般的なシリコンモールドに代わる材料として，硬質炭素であるダイヤモンドとガラス状炭素を提案した．ポリシロキサンを直接酸化マスクとした電子サイクロトロン共鳴酸素イオンビーム加工で硬質炭素モールドを作製し，その有用性を検討した．また，そのモールドを用いて室温硬化ナノインプリントでダイヤモンドのナノパターン形成を行った．