Mg-C薄膜の透明導電特性に与える水酸化過程の影響

千葉 雅史; 舞薗 三紀彦; 吉田 勇太; 清田 英夫; 本城 貴充; 久慈 俊郎

doi:10.14886/sssj2008.30.0.343.0

真空・表面科学合同講演会
（第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会）
日本真空協会・社団法人日本表面科学会

セッションID: 5P-098

DOI https://doi.org/10.14886/sssj2008.30.0.343.0

会議情報

主催: 日本真空協会、社団法人日本表面科学会

11月5日（金）

Mg-C薄膜の透明導電特性に与える水酸化過程の影響

*千葉雅史, 舞薗三紀彦, 吉田勇太, 清田英夫, 本城貴充, 久慈俊郎

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抄録

我々はMg-Cを母相とする導電性を示す透明薄膜の開発に成功し，それはITO等の透明電極の代替材料として有望視されている．非固溶のMgとCをスパッタ法にて一旦化合化してから水酸化処理を施すことで，導電性を確保しながらに透明な膜へと導く．今回は水酸化処理過程における水蒸気量と，出発材料のMg-C組成比をパラメータとして，種々の薄膜を合成し，さらにそれらの諸特性と構造について検討を行った.

責任著者(Corresponding author)

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