表面微細加工によるグラフェンのエピタキシャル成長の制御

抄録

微細加工を施した表面上のエピタキシャル・グラフェンをエネルギー分光型光電子顕微鏡により研究した。その結果、エピタキシャルグラフェンの層数及びステップ密度のナノ制御に成功し、ほぼ完全に近いグラフェンエピタキシャル膜が得られた。本研究結果は、エピタキシャル・グラフェンを用いた電子デバイスの実用化を大きく前進させるものである。