金属‐アルミナ界面終端原子種制御の熱力学

抄録

アルミナは多くの場合極性面を界面として金属と接合することが多い。極性面には、アルミ面と酸素面があり、界面終端がどちらの面になるかは電子デバイス特性や接合強度に大きな影響を与える。金属として銅・ニッケル・コバルトを用いて実験的に界面終端元素を制御した例と、鉄・チタンにおける文献例から、熱力学的に界面終端元素を制御する一般論を提案する。