島結晶によるRHEED斑点形状

抄録

一般にRHEEDは表面構造評価に用いられるが、回折斑点の形状から島結晶の形態情報も得られる。本研究では、Si(001)基板に形成されるGeの島結晶を試料として用いる。この系のGeナノドットの形態はよく知られているが、実験での斑点形状と計算シミュレーションの比較は報告例がないと思われる。入射条件を変えて実験と計算の比較検討を行うとともにSTMによる形態確認も行ったので報告する。