多周波数原子間力顕微鏡法の開発とGe(001)の表面弾性に関する研究

抄録

力センサーにカンチレバーを用いた周波数変調原子間力顕微鏡(FM-AFM)はさまざまな固体表面を原子スケールで観測できる。近年我々はカンチレバーの小振幅励振を可能にする多周波数モードを使ったFM-AFM法を考案し、表面の凹凸像だけでなく弾性情報やエネルギー散逸情報を同時に取得できる技術を開発した。今回Ge(001)表面を用いて表面弾性情報と凹凸像の同時取得を行ったのでこれらについて報告する。