微細構造制御生分解性樹脂へのイオンビームアシスト法を用いたアモルファス炭素薄膜付与による多機能化

抄録

プラスチック材料はすぐれた性能を持つ為、大量生産・大量消費されている。環境低負荷材料として生分解性プラスチックが挙げられるが、未だ使用されにくい現状がある。需要拡大の為、薄膜付与による多機能化が試みられ、多種薄膜材料において確立されつつある。しかしながら、基板の結晶構造と成膜性との関係性について研究された報告は少ない。
本研究では、微細構造を制御した基板への成膜性及び膜特性の把握を目的とした。